李强
,
刘正堂
,
冯丽萍
,
宋文燕
,
张兴刚
,
闫锋
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2007.01.013
在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上利用射频磁控反应溅射法制备出SiO2/Si3N4双层增透膜系,并对镀膜后的蓝宝石进行了高温强度测试及其透过率的研究.研究表明:镀膜后蓝宝石的高温强度和透过率均有明显提高;800℃时,镀膜蓝宝石的高温强度比未镀膜提高了41.0%;在3～5μm波段范围内,室温下镀膜后透过率比镀膜前提高8.0%;SiO2/Si3N4膜系具有较高的热稳定性,且与蓝宝石衬底附着良好.
关键词:
磁控溅射
,
SiO2/Si3N4 薄膜
,
蓝宝石
,
高温强度
,
透过率
